제품 설명
AOT-결핵-616 고정밀 스핀 코터는 웨이퍼, 유리 및 세라믹 기판 코팅 공정용으로 설계되었습니다. 0~10,000rpm의 무단 속도 조절 시스템, 표준 4인치 진공 척(10~150mm 기판 호환), 그리고 ±1초(1~9,999초 조정)의 정밀한 시간 제어 기능을 갖추고 있습니다.
안정적입니다. 120W 브러시리스 모터와 0.01μm 수준의 동적 밸런싱 기술을 탑재하여 10nm 수준의 필름 균일도를 보장합니다. 7.5kg의 완전 금속 본체에는 스마트 비산 방지 모듈이 포함되어 있으며, 옵션으로 85L/min의 오일프리 진공 펌프를 지원합니다. 포토레지스트, 졸겔 등에 적합합니다. 세/ROHS/CCC 인증을 받았으며, 1년 보증 및 10영업일 이내 배송을 제공하여 마이크로전자 연구실, 태양광 R&D, 대학 교육 분야의 요구를 충족합니다.
제품명 | AOT-결핵-616 고정밀 스핀 코터 |
상태 | 새로운 |
원산지 | 중국 |
브랜드 이름 | AOT |
모델 번호 | AOT-결핵-616 |
주 전원 공급 장치 | 단상 AC: 220V/110V, 50Hz |
모터 파워 | 120와트 |
무게 | 7.5kg |
치수(L × W × H) | 30cm × 40cm × 30cm |
인증 | 세/로시/CCC |
보증 | 1년 |
모델 유형 | 고정밀 스핀 코터 |
속도 | 300 - 10000 분당 회전수 / 분 |
회전식 진공 흡입 컵 직경 | 4인치(102mm, 표준 구성) |
선택적 구성 | 직경 10~150mm 기판 주문 접수합니다. |
시간 설정 | 1 - 9999초 |
표준 포장 치수 | 260mm(폭) × 350mm(깊이) × 260mm(높이) |
포장 세부 정보 | 수출용 목재 포장 |
배송 세부 정보 | 10일 근무 |
선택 가능한 예비 부품:
1. 오일 펌프 없음 시 85L/분
2. 특수 진공 흡입(6인치, 3인치, 2인치, 1인치 및 그 이하)
제품 디스플레이
AOT-결핵-616 고정밀 스핀 코터
AOT-결핵-616 고정밀 스핀 코터, 10000rpm 무단 속도 조절, 150mm 기판용 4인치 진공 척, 10nm 수준의 필름 두께 균일성, 세/ROHS/CCC 인증, 10일 이내 신속 배송, 실험실 및 산업용 코팅 솔루션.
전시회
AOT 리튬 배터리 장비 전시회는 참가업체와 방문객에게 전시, 교류, 협력 및 무역을 위한 포괄적인 플랫폼을 제공합니다. 기업은 전시회 참가를 통해 업계 동향을 파악하고, 시장 채널을 확대하며, 브랜드 이미지를 제고하고, 기술 혁신과 산업 발전을 촉진할 수 있습니다.
자격증
협력 파트너
자주 묻는 질문
Q1: 스핀 코터는 6인치 웨이퍼 코팅을 지원합니까?
A: 표준 구성에는 4인치 척이 포함됩니다. 특수 6인치 척은 옵션으로 제공되며(주문 시 명시해야 함), 150mm 기판의 안정적인 흡착을 최대한 지원합니다.
질문 2: 300~10,000rpm 속도 범위의 정확도 오차는 얼마입니까?
A: 폐루프 서보 제어를 활용하여 전체 속도 편차는 0.5% 미만입니다. 프로그래밍 가능한 가속 곡선을 통해 단계별 코팅 공정과 호환됩니다.
Q3: 진공 펌프에도 보증이 적용되나요?
A: 본체에는 1년 보증이 적용됩니다. 옵션인 무급유 진공 펌프는 소모품을 제외하고 별도로 6개월 보증이 적용됩니다.
Q4: 오일프리 진공 펌프는 기존 펌프에 비해 어떤 장점이 있나요?
A: 85L/분 오일프리 펌프는 클린룸 환경에서 오일 미스트 오염을 제거하고, 소음을 52dB로 줄이며, 유지 보수 간격을 2,000시간으로 연장합니다.
질문 5: 맞춤형 구성에도 10영업일 배송 기간이 적용됩니까?
A: 표준 구성은 10일 이내 배송을 보장합니다. 특수 척이나 진공 펌프가 포함된 주문은 배송 기간이 영업일 기준 3~5일 더 연장됩니다.
