제품 설명
AOT-비티씨-100A 자동 디지털 스핀 코터 및 진공 스핀 코터는 4인치 웨이퍼 및 불규칙한 기판용으로 설계되었습니다. 이 자동 디지털 스핀 코터 및 진공 스핀 코터는 내식성 폴리프로필렌 액체 트레이와 3단 진공 흡착 컵을 채택했으며, 500~8,000rpm의 2단 프로그래밍식 회전 속도 제어를 지원하며, 정확도는 ±1%입니다. 오일프리 진공 펌프 인터페이스와 조절식 시린지 홀더가 통합되어 점도 0.5~5,000cPs의 졸 소재에 적합하며, 단일 코팅 시간은 1~60초까지 조절 가능합니다. 접착 테이프 및 마이크로 흡착 컵 옵션이 기본으로 제공되며, 5×5mm~10×10mm의 불규칙한 기판과 호환되며, 필름 두께 균일도는 ±2%입니다. 기계 무게는 15kg, 크기는 330 x 254 x 216mm이며, 플러그 앤 플레이 방식으로 반도체, 멤스 및 광학 박막 연구실의 효율적인 코팅 요구 사항을 충족합니다.
제품 모델 | AOT-비티씨-100A |
구조 | 안정적인 회전을 위한 알루미늄 주조 케이스 액체 디스크는 대부분의 부식성 용액에 견딜 수 있도록 폴리프로필렌(피피(PP))으로 만들어졌습니다. 배수구와 진공펌프 커넥터는 후면 패널에 있습니다. 필터 1개가 기본 패키지에 포함되어 있습니다. 이 필터는 코터를 연결하여 폐수가 펌프로 유입되는 것을 방지하는 데 사용됩니다. 표준 패키지에는 오일리스 진공 펌프 1개가 포함되어 있습니다. 자세한 사양은 여기를 클릭하여 확인하세요. |
챔버 및 진공 척
| 챔버 직경: 145mm 척 O-링이 포함된 피피(PP) 부식 방지 진공 척 3세트는 다양한 크기(1'', 2'', 4'')로 제공됩니다. 불규칙한 모양의 기판을 코팅하기 위해 접착 테이프 1개(폭 6인치 x 길이 24인치)가 포함되어 있습니다(예: 불규칙한 모양의 기판을 접착 테이프 위에 올려놓으면 진공 척이 흡입력으로 테이프를 고정합니다) 미니 흡착 컵은 직경 1mm 미만의 소형 웨이퍼나 일반(5x5mm 또는 10x10mm) 또는 불규칙한 모양의 기판에 사용할 수 있습니다. 여기를 클릭하여 주문하세요. 추가 비용이 발생합니다. (오른쪽 아래 그림 참조) |
진공 펌프(포함되지 않음)
| 2022년 9월 7일부터 120L/분 오일리스 진공 펌프는 포함되지 않습니다. 즉시 사용할 수 있도록 진공 등급 고무 파이프가 포함되어 있습니다. |
회전 속도 및 시간
| 다양한 회전 시간과 속도를 위한 2개의 프로그래밍 가능한 세그먼트가 있는 디지털 제어판 회전 속도: 500~8000RPM 회전 시간: 1~60초 |
액체 주입 | 코팅제를 담기 위해 20mL 주사기를 사용합니다. 주사기 홀더 높이는 지지대를 따라 자유롭게 조절 및 회전 가능합니다.
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입력 전압 | 스핀 코터: 100~240VAC 전원 어댑터가 있는 24VDC, 150W 진공 펌프: 110VAC 또는 220VAC 옵션 막대에서 전압을 선택하세요(10A 퓨즈) |
모터 파워 | 최대 150W의 24V DC 모터 |
제품 치수 | 330.2mm(길이) x 254mm(폭) x 215.9mm(높이)
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무게 | 15kg |
실험실용 스핀 코팅을 위한 자동 디지털 스핀 코터 및 진공 스핀 코터
AOT-비티씨-100A 자동 디지털 스핀 코터 및 진공 스핀 코터, 4인치 웨이퍼 전용, 500-8000rpm 2단계 프로그래밍, 부식 방지 피피(PP) 진공 흡입 컵, 불규칙한 기판 졸겔 코팅과 호환, 실험실 등급 고정밀 필름 두께 제어, 플러그 앤 플레이 컴팩트 디자인.
전시회
AOT 리튬 배터리 장비 전시회는 참가업체와 방문객에게 전시, 교류, 협력 및 무역을 위한 포괄적인 플랫폼을 제공합니다. 기업은 전시회 참가를 통해 업계 동향을 파악하고, 시장 채널을 확대하며, 브랜드 이미지를 제고하고, 기술 혁신과 산업 발전을 촉진할 수 있습니다.
자격증
협력 파트너
자주 묻는 질문
질문 1: 3" 또는 비표준 크기 기판을 어떻게 장착합니까?
답변: 표준 접착 테이프를 사용하여 기판을 4인치 흡착 컵이나 옵션인 맞춤형 소형 흡착 컵(5x5mm~10x10mm)에 부착하여 진공 부착을 통해 코팅 안정성을 보장합니다.
질문 2: 컴팩트 스핀 코터가 포함되어 있지 않은 경우 오일프리 진공 펌프는 어떻게 작동합니까?
A: 호환 진공 펌프(권장 유량 ≥ 120L/분)를 별도로 구매하여 장치 뒷면의 인터페이스를 통해 연결하여 기판의 안정적인 흡착을 보장하기 위해 진공 수준이 -80kPa가 되도록 해야 합니다.
Q3: 컴팩트 스핀 코터는 고점도 졸(>5000cPs)에 적합합니까?
A: 콤팩트 스핀 코터는 회전 속도를 500~2000rpm으로 낮추고 코팅 시간을 30초 이상으로 늘리는 것이 좋으며, 필요한 경우 졸을 25~30℃로 예열하여 유동성을 개선하는 것이 좋습니다.
Q4: 교차 오염을 방지하기 위해 피피(PP) 트레이를 청소하는 방법은 무엇입니까?
A: 코팅 후 즉시 탈이온수로 헹구십시오. 유기 용매 시스템의 경우, 에탄올을 사용하여 5분간 초음파 세척하고, 강산이나 강알칼리성 세척액은 절대 사용하지 마십시오.
Q5: 주사기 홀더를 50mL 크기로 조절할 수 있나요?
A: 표준 홀더는 20mL 주사기를 지원합니다. 더 큰 용량의 경우 홀더 높이를 수동으로 조절하고 고정할 수 있으며, 코팅의 균일성을 위해 액체를 소량씩 주입하는 것이 좋습니다.
